אַדוואַנטאַגעס און דיסאַדוואַנטידזשיז פון ספּאַטערינג קאָוטינג טעכנאָלאָגיע

לעצטנס, פילע יוזערז האָבן געפרעגט וועגן די אַדוואַנטידזשיז און דיסאַדוואַנטידזשיז פון ספּאַטערינג קאָוטינג טעכנאָלאָגיע, לויט צו די רעקווירעמענץ פון אונדזער קאַסטאַמערז, איצט עקספּערץ פון RSM טעכנאָלאָגיע דעפּאַרטמענט וועט טיילן מיט אונדז, כאָופּינג צו סאָלווע פּראָבלעמס.עס זענען מיסטאָמע די פאלגענדע פונקטן:

　　1 、 אַנבאַלאַנסט מאַגנטראָן ספּוטערינג

אַסומינג אַז די מאַגנעטיק פלאַקס גייט פארביי דורך די ינער און ויסווייניקסט מאַגנעטיק פלאָקן ענדס פון די מאַגנטראָן ספּאַטערינג קאַטאָוד איז נישט גלייַך, עס איז אַן אַנבאַלאַנסט מאַגנטראָן ספּאַטערינג קאַטאָוד.די מאַגנעטיק פעלד פון די פּראָסט מאַגנטראָן ספּוטערינג קאַטאָוד איז קאַנסאַנטרייטאַד לעבן די ציל ייבערפלאַך, בשעת די מאַגנעטיק פעלד פון די אַנבאַלאַנסט מאַגנטראָן ספּוטערינג קאַטאָוד ראַדיייץ אויס פון די ציל.די מאַגנעטיק פעלד פון די פּראָסט מאַגנטראָן קאַטאָוד טייטלי ריסטריקץ די פּלאַזמע לעבן די ציל ייבערפלאַך, בשעת די פּלאַזמע לעבן די סאַבסטרייט איז זייער שוואַך, און די סאַבסטרייט וועט נישט זיין באָמבאַרדעד דורך שטאַרק ייאַנז און עלעקטראָנס.די ניט-יקוואַליבריאַם מאַגנטראָן קאַטאָוד מאַגנעטיק פעלד קענען פאַרברייטערן די פּלאַזמע ווייַט אַוועק פון די ציל ייבערפלאַך און ייַנטונקען די סאַבסטרייט.

　　2, ראַדיאָ אָפטקייַט (רף) ספּאַטערינג

דער פּרינציפּ פון דאַפּאַזיטינג ינסאַלייטינג פילם: אַ נעגאַטיוו פּאָטענציעל איז געווענדט צו דער אָנפירער געשטעלט אויף די צוריק פון די ינסאַלייטינג ציל.אין די שייַנען אָפּזאָגן פּלאַזמע, ווען די positive יאָן פירן טעלער אַקסעלערייץ, עס באַמבאַרדז די ינסאַלייטינג ציל אין פראָנט פון עס צו שפּריצן.דעם ספּאַטערינג קענען לעצטע פֿאַר 10-7 סעקונדעס.נאָך דעם, די positive פּאָטענציעל געשאפן דורך די positive אָפּצאָל אַקיומיאַלייטיד אויף די ינסאַלייטינג ציל אָפסעץ די נעגאַטיוו פּאָטענציעל אויף די אָנפירער טעלער, אַזוי די באָמבאַרדמענט פון הויך-ענערגיע positive ייאַנז אויף די ינסאַלייטינג ציל איז סטאַפּט.אין דעם צייט, אויב די פּאָולעראַטי פון די מאַכט צושטעלן איז ריווערסט, די עלעקטראָנס וועט באָמבאַרדירן די ינסאַלייטינג טעלער און נוטראַלייז די positive אָפּצאָל אויף די ינסאַלייטינג טעלער ין 10-9 סעקונדעס, וואָס מאכט די פּאָטענציעל נול.אין דעם צייט, ריווערסינג די פּאָולעראַטי פון די מאַכט צושטעלן קענען פּראָדוצירן ספּאַטערינג פֿאַר 10-7 סעקונדעס.

אַדוואַנטאַגעס פון רף ספּוטערינג: ביידע מעטאַל טאַרגאַץ און דיעלעקטריק טאַרגאַץ קענען זיין ספּאַטערד.

　　3, דק מאַגנטראָן ספּיטערינג

די מאַגנטראָן ספּוטערינג קאָוטינג עקוויפּמענט ינקריסאַז די מאַגנעטיק פעלד אין די דק ספּוטערינג קאַטאָוד ציל, ניצט די Lorentz קראַפט פון די מאַגנעטיק פעלד צו בינדן און פאַרברייטערן די טרייַעקטאָריע פון ​​עלעקטראָנס אין די עלעקטריק פעלד, ינקריסיז די געלעגנהייַט פון צונויפשטויס צווישן עלעקטראָנס און גאַז אַטאָמס, ינקריסיז די ייאַנאַזיישאַן קורס פון גאַז אַטאָמס, ינקריסיז די נומער פון הויך-ענערגיע ייאַנז באַמבאַרדינג די ציל און דיקריסאַז די נומער פון הויך-ענערגיע עלעקטראָנס באָמבאַרדינג די פּלייטאַד סאַבסטרייט.

אַדוואַנטאַגעס פון פּלאַנער מאַגנטראָן ספּוטערינג:

1. די ציל מאַכט געדיכטקייַט קענען דערגרייכן 12וו/קמ2;

2. דער ציל וואָולטידזש קענען דערגרייכן 600וו;

3. די גאַז דרוק קענען דערגרייכן 0.5פּאַ.

דיסאַדוואַנטידזשיז פון פּלאַנער מאַגנטראָן ספּוטערינג: דער ציל פארמען אַ ספּאַטערינג קאַנאַל אין די סטאַרטפּאַס געגנט, די עטשינג פון די גאנצע ציל ייבערפלאַך איז אַניוואַן, און די יוטאַלאַזיישאַן קורס פון די ציל איז בלויז 20% - 30%.

　　4 、 ינטערמידייט אָפטקייַט אַק מאַגנטראָן ספּיטערינג

עס רעפערס צו אַז אין די מיטל אָפטקייַט אַק מאַגנטראָן ספּוטערינג ויסריכט, יוזשאַוואַלי צוויי טאַרגאַץ מיט דער זעלביקער גרייס און פאָרעם זענען קאַנפיגיערד זייַט ביי זייַט, אָפט ריפערד צו ווי צווילינג טאַרגאַץ.זיי זענען סוספּענדעד ינסטאַליישאַנז.וסואַללי, צוויי טאַרגאַץ זענען פּאַוערד אין דער זעלביקער צייט.אין דעם פּראָצעס פון מיטל אָפטקייַט אַק מאַגנטראָן ריאַקטיוו ספּאַטערינג, די צוויי טאַרגאַץ אַקט ווי אַנאָוד און קאַטאָוד אין קער, און זיי שפּילן ווי אַנאָוד קאַטאָוד יעדער אנדערע אין דער זעלביקער האַלב ציקל.ווען דער ציל איז אין די נעגאַטיוו האַלב ציקל פּאָטענציעל, די ציל ייבערפלאַך איז באָמבאַרדעד און ספּאַטערד דורך positive ייאַנז;אין די positive האַלב ציקל, די עלעקטראָנס פון די פּלאַזמע זענען אַקסעלערייטיד צו די ציל ייבערפלאַך צו נוטראַלייז די positive אָפּצאָל אַקיומיאַלייטיד אויף די ינסאַלייטינג ייבערפלאַך פון די ציל ייבערפלאַך, וואָס ניט בלויז סאַפּרעסיז די יגנישאַן פון די ציל ייבערפלאַך, אָבער אויך ילימאַנייץ די דערשיינונג פון " אַנאָוד דיסאַפּיראַנס".

די אַדוואַנטידזשיז פון ינטערמידייט אָפטקייַט טאָפּל ציל ריאַקטיוו ספּאַטערינג זענען:

(1) הויך דעפּאַזישאַן קורס.פֿאַר סיליציום טאַרגאַץ, די דעפּאַזישאַן קורס פון מיטל אָפטקייַט ריאַקטיוו ספּאַטערינג איז 10 מאל אַז פון דק ריאַקטיוו ספּאַטערינג;

(2) די ספּאַטערינג פּראָצעס קענען זיין סטייבאַלייזד אין די שטעלן אַפּערייטינג פונט;

(3) די דערשיינונג פון "יגנישאַן" איז ילימאַנייטאַד.די כיסאָרן געדיכטקייַט פון די צוגעגרייט ינסאַלייטינג פילם איז עטלעכע אָרדערס פון מאַגנאַטוד ווייניקער ווי אַז פון די דק ריאַקטיוו ספּאַטערינג אופֿן;

(4) העכער סאַבסטרייט טעמפּעראַטור איז וווילטויק צו פֿאַרבעסערן די קוואַליטעט און אַדכיזשאַן פון די פילם;

(5) אויב מאַכט צושטעלן איז גרינגער צו גלייַכן דעם ציל ווי רף מאַכט צושטעלן.

　　5 、 ריאַקטיוו מאַגנטראָן ספּיטערינג

אין די ספּאַטערינג פּראָצעס, די אָפּרוף גאַז איז פאסטעכער צו רעאַגירן מיט די ספּאַטערד פּאַרטיקאַלז צו פּראָדוצירן קאַמפּאַונד פילמס.עס קענען צושטעלן ריאַקטיוו גאַז צו רעאַגירן מיט די ספּאַטערינג קאַמפּאַונד ציל אין דער זעלביקער צייט, און עס קענען אויך צושטעלן ריאַקטיוו גאַז צו רעאַגירן מיט די ספּאַטערינג מעטאַל אָדער צומיש ציל אין דער זעלביקער צייט צו צוגרייטן קאַמפּאַונד פילמס מיט אַ געגעבן כעמישער פאַרהעלטעניש.

אַדוואַנטאַגעס פון ריאַקטיוו מאַגנטראָן ספּוטערינג קאַמפּאַונד פילמס:

(1) די ציל מאַטעריאַלס און אָפּרוף גאַסאַז געניצט זענען זויערשטאָף, ניטראָגען, כיידראָוקאַרבאַנז, אאז"ו ו, וואָס איז יוזשאַוואַלי גרינג צו באַקומען הויך-ריינקייַט פּראָדוקטן, וואָס איז קאַנדוסיוו צו דער צוגרייטונג פון הויך-ריינקייַט קאַמפּאַונד פילמס;

(2) דורך אַדזשאַסטינג די פּראָצעס פּאַראַמעטערס, כעמישער אָדער ניט-כעמיש קאַמפּאַונד פילמס קענען זיין צוגעגרייט, אַזוי אַז די קעראַקטעריסטיקס פון די פילמס קענען זיין אַדזשאַסטיד;

(3) די סאַבסטרייט טעמפּעראַטור איז נישט הויך, און עס זענען ווייניק ריסטריקשאַנז אויף די סאַבסטרייט;

(4) עס איז פּאַסיק פֿאַר מונדיר קאָוטינג אין גרויס געגנט און ריאַלייזיז ינדאַסטרי פּראָדוקציע.

אין דעם פּראָצעס פון ריאַקטיוו מאַגנטראָן ספּוטערינג, די ינסטאַביליטי פון קאַמפּאַונד ספּוטערינג איז גרינג צו פּאַסירן, דער הויפּט אַרייַנגערעכנט:

(1) עס איז שווער צו צוגרייטן קאַמפּאַונד טאַרגאַץ;

(2) דער דערשיינונג פון קרייַזבויגן סטרייקינג (בויגן אָפּזאָגן) געפֿירט דורך ציל פאַרסאַמונג און די ינסטאַביליטי פון ספּאַטערינג פּראָצעס;

(3) נידעריק ספּאַטערינג דעפּאַזישאַן קורס;

(4) די דעפעקט געדיכטקייַט פון די פילם איז הויך.