הויך ריינקייַט זירקאָניום ספּוטערינג טאַרגאַץ

ריטש ספּעציעל מאַטעריאַלס קאָו, לטד.צושטעלן הויך ריינקייַט זירקאָניום ספּוטערינג טאַרגאַץ מיט די העכסטן מעגלעך געדיכטקייַט און קלענסטער מעגלעך דורכשניטלעך קערל סיזעס פֿאַר נוצן אין סעמיקאַנדאַקטער, כעמישער פארע דעפּאַזישאַן (CVD) און גשמיות פארע דעפּאַזישאַן (פּווד) אַרויסווייַזן און אָפּטיש אַפּלאַקיישאַנז.אונדזער נאָרמאַל ספּוטערינג טאַרגאַץ פֿאַר דין פילם זענען בנימצא אין מאָנאָבלאָקק אָדער בונד מיט פּלאַנער ציל דימענשאַנז און קאַנפיגיעריישאַנז אַרויף צו 820 מם מיט לאָך בויער לאָוקיישאַנז און טרעדינג, בעוועלינג, גרוווז און באַקינג דיזיינד צו אַרבעטן מיט ביידע עלטערע ספּוטערינג דיווייזאַז און די לעצט פּראָצעס ויסריכט, אַזאַ ווי גרויס שטח קאָוטינג פֿאַר זונ ענערגיע אָדער ברענוואַרג סעלז און פליפּ-שפּאָן אַפּלאַקיישאַנז.פאָרשונג סייזד טאַרגאַץ זענען אויך געשאפן ווי געזונט ווי מנהג סיזעס און אַלויז.אַלע טאַרגאַץ זענען אַנאַלייזד מיט די בעסטער דעמאַנסטרייטיד טעקניקס אַרייַנגערעכנט X-Ray Fluorescence (XRF).