וואָס איז פּאָליסיליקאָן ציל

פּאָליסיליקאָן איז אַ וויכטיק ספּאַטערינג ציל מאַטעריאַל.ניצן מאַגנטראָן ספּוטערינג אופֿן צו צוגרייטן SiO2 און אנדערע דין פילמס קענען מאַכן די מאַטריץ מאַטעריאַל האָבן בעסער אָפּטיש, דיעלעקטריק און קעראָוזשאַן קעגנשטעל, וואָס איז וויידלי געניצט אין פאַרבינדן פאַרשטעלן, אָפּטיש און אנדערע ינדאַסטריז.

דער פּראָצעס פון קאַסטינג לאַנג קריסטאַלז איז צו פאַרשטיין די דירעקטיאָנאַל סאַלידאַפאַקיישאַן פון פליסיק סיליציום פון די דנאָ צו די שפּיץ ביסלעכווייַז דורך אַקיעראַטלי קאַנטראָולינג די טעמפּעראַטור פון די כיטער אין די הייס פעלד פון די ינגגאַט אויוון און די היץ דיסיפּיישאַן פון די טערמאַל ינסאַליישאַן מאַטעריאַל, און די גיכקייַט פון די לאַנג קריסטאַלז איז 0.8 ~ 1.2 סענטימעטער / ה.אין דער זעלביקער צייט, אין דעם פּראָצעס פון דירעקטעד סאַלידאַפאַקיישאַן, די סעגרעגאַציע ווירקונג פון מעטאַל עלעמענטן אין סיליציום מאַטעריאַלס קענען זיין איינגעזען, רובֿ פון די מעטאַל עלעמענטן קענען זיין פּיוראַפייד, און אַ מונדיר פּאָליקריסטאַללינע סיליציום קערל סטרוקטור קענען זיין געשאפן.

קאַסטינג פּאָליסיליקאָן אויך דאַרף זיין בעקיוון דאָפּט אין די פּראָדוקציע פּראָצעס, אין סדר צו טוישן די קאַנסאַנטריישאַן פון אַקסעפּטאָר ימפּיוראַטיז אין די סיליציום צעשמעלצן.די הויפּט דאָפּאַטאַנט פון פּ-טיפּ וואַרפן פּאָליסיליקאָן אין די אינדוסטריע איז סיליציום באָראָן בעל צומיש, אין וואָס די באָראָן אינהאַלט איז וועגן 0.025%.די דאָפּינג סומע איז באשלאסן דורך די ציל רעסיסטיוויטי פון די סיליציום ווייפער.די אָפּטימאַל רעסיסטיוויטי איז 0.02 ~ 0.05 Ω • סענטימעטער, און די קאָראַספּאַנדינג באָראָן קאַנסאַנטריישאַן איז וועגן 2 × 1014cm-3。 אָבער, די סעגרעגאַציע קאָואַפישאַנט פון באָראָן אין סיליציום איז 0.8, וואָס וועט ווייַזן אַ זיכער סעגרעגאַציע ווירקונג אין די דירעקטיאָנאַל סאָלידיפיקאַטיאָן פּראָצעס, אַז איז, די באָראָן עלעמענט איז פונאנדערגעטיילט אין אַ גראַדיענט אין די ווערטיקאַל ריכטונג פון די ינגגאַט, און די רעסיסטיוויטי ביסלעכווייַז דיקריסאַז פון די דנאָ צו די שפּיץ פון די ינגגאַט.